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FFU层流罩系列

FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的效用(HEPA)或超有效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。



FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的效用(HEPA)或超有效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。


FFU具有特点:

    1:灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
    2:可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
    3:负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
    4:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
    5:减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。


主要技术参数:

型号

YCKJ-FFU-2×2

YCKJ-FFU-2×3

YCKJ-FFU-2×4

YCKJ-FFU-3×4

YCKJ-FFU-3×4

YCKJ-FFU-4×4

外型尺寸(mm)(WXDXH)

575×575×320

575×875×320

575×1175×320

875×875×320

875×1175×320

1175×1175×320

面风速

0.45±20%

噪音dB(A)(风速0.45m/s,
距出风面0.5m)

48

48

48

48

52

52

HEPA过滤效率

≥99.99%@0.3um

HEPA规格

570×870×90

570×870×90

570×1170×90

870×870×90

870×1170×90

1170×1170×90

电源

AC单相,220V/50Hz

功耗(W)(风速0.45m/s)

120

125

140

180

240

280

机外余压(Pa)

50~130

振动

≤4um

箱体材质

镀铝锌板/不锈钢/铝板/冷板

 



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